Вакуумметр

Диагностика вакуумметромВакуумметр (вакуумный манометр) представляет собой прибор, предназначенный для определения уровня давления разреженных газов.

В соответствии с принципом действия вакуумметры подразделяют на такие виды:
Вакуумметры классические – это обычные манометры (жидкостные либо анероидные), предназначенные для измерения небольших давлений. В измерительном колене жидкостных вакуумметров используется масло с определенной плотностью и с желательно низким давлением пара (чтобы не нарушался вакуум). Как правило, жидкостные манометры изолируются от остальной вакуумной системы посредством азотных ловушек (специальные устройства, которые наполняются жидким азотом и служат с целью вымораживания паров используемого вещества в манометре). Областью измеряемых давлений является промежуток от 10Па до 100000Па.

Вакуумметры емкостные. Работа этих приборов основана на изменении емкости конденсатора с изменением расстояния между обкладками. У конденсатора одна из обкладок создается в форме гибкой мембраны. С изменением давления эта мембрана изгибается, меняя емкость конденсатора. Емкость измеряют. После градуировки данный прибор можно использовать для измерения давления. Областью измеряемых давлений является промежуток от 1Па до 1000Па.

Вакуумметры термопарные. В этих устройствах принцип действия основывается на охлаждении посредством теплопроводности. Термопара контактирует с нагреваемым проводом. Чем вакуум лучше, тем меньше уровень теплопроводности газа и выше температура проводника (в разреженном газе его теплопроводность прямо пропорционально давлению данного газа). После градуировки подключенного к термопаре гальванометра при известных уровнях давления можно применять измеряемые значения температуры для измерения давления. Областью измеряемых давлений является промежуток от 10-3 Тorr до 10Тorr.

Вакуумметр ионизационный. В данном приборе принцип действия основывается на ионизации газа. С понижением давления газа становится меньше атомов, которые способны подвергаться ионизации. Вследствие этого при данном напряжении уменьшается и текущий между электродами ионизационный ток. Данный вид вакуумметров подразделяют на приборы с холодным катодом (магнетронные и Пеннинга) и с накаливаемым катодом. Областью измеряемых давлений является промежуток от 10-12 Torr до 10-1 Torr.

Ионизационные и термопарные вакуумметры, благодаря тому, что они представляют собой массовые, легко повторяемые приборы, активно используются при проведении экспериментов, а также в промышленности. Их практически выполняют в виде ламп электронных с стеклянным отростком, который соединяется посредством припаивания либо шланга с исследуемым объектом.

Справочник строительных материалов (В)
Справочник строительных материалов и терминов